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机器人(300024.SZ):公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台
发布日期:2025-03-08 11:07    点击次数:87

(原标题:机器人(300024.SZ):公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台)

格隆汇2月24日丨机器人(300024.SZ)在投资者互动平台表示,公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台,主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节的晶圆传输及搬运。公司清洁机器人产品——星卫来,主要为工业清洁机器人,可应用于车间或洁净车间内。

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